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台积电开发晶圆仓储自动化搬运系统 5奈米厂率先启用

发布时间:2020-07-01 点击次数:2202


晶圆代工龙头台积电捍卫职场工作安全,成功开发「晶圆仓储自动化搬运系统」,已于第 1 季于晶圆 18A 厂、也就是 5 奈米厂率先启用,有效降低库房员工每人每日 95% 搬运量,预计将于 2021 年底前,陆续导入其他厂区的 12 吋超大晶圆厂。



台积电制造所需的原物料晶圆,每日由供货商配送至各厂区收货码头,再由台积库房员工将盒装晶圆取出、放上输送带,分派至无尘室生产。台积从 2018 年起,由资材供应链管理处携手风险管理、智能制造中心、制造材料质量可靠性部及新厂规画部,合力启动「人因工程—晶圆仓储自动化」改善计划,21 个月内成功完成晶圆仓储自动化搬运系统建置。



台积电晶圆仓储自动化搬运系统,以最新启用的晶圆 18A 厂为导入起点,透过输送带、自动导引运输车与机器手臂的建置,今年第一次即减省 95% 非技术性人力负荷,每位库房员工每日减少 1.8 公吨搬运量。



考虑系统占地面积、各晶圆厂收货码头腹地空间,及各厂区每日货物吞吐量,晶圆 12B 厂、晶圆 14A/B 厂及晶圆 15A/B 厂,也将于 2021 年底前,陆续导入晶圆仓储自动化搬运系统,而目前兴建中的晶圆 18B 厂,也将同步建置晶圆仓储自动化搬运系统。



台积电晶圆仓储自动化搬运系统,是全球首座半导体晶圆收货上架的自动化系统。因应系统导入,资材供应链管理处也提出环境友善行动,同步展开各晶圆供货商的包材规格标准化作业,取代一次性包材使用。



台积电透过参与系统开发的各组织,与供货商共同合作,成功开发业界第一套可重复稳定应用于自动化系统的标准化包材,每年成功减少 1717 公吨纸箱、288 公吨保丽龙盒使用,相当于减少 2410 公吨碳足迹、1345 公吨水足迹,同时节能 110 万度。


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